BESTACE 9系列气体质量流量计及控制器,是其5系列流量计的升级版,采用了316不锈钢接液材质及17-4不锈钢阀门材质,在获得更高强度、洁净度、**性能的同时,保持了5系列**位、小体积等优点,同时,产品具有CE认证,且可选LCD蓝色背光显示屏,使得9系列产品在应用于设备配套、过程控制测试设备等工况的同时,还可用于大学、实验室、流量校准等场合。 9系列产品也采用了热式测量原理,因此具有热式原理的**、高灵敏性、宽量程比等特点,且*平方根修正。同时采取了毛细管取样方式,具有较低的能耗。每台设备出厂前都会按照客户*的气体、量程,严格地按照NIST标准进行出厂校准,同时,比例调节阀嵌入在流体通道内,从而**了精巧的体积。 技术参数: 量程:流量计5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM 材质:接液部位:316L不锈钢;外壳:17-4不锈钢 阀座及阀芯:17-4不锈钢 密封材质:标配为氟橡胶(Viton) 可选丁纳橡胶Buna,全氟醚橡胶KalRez 泄漏率:不**过1×10 毫升/秒,氦气 环境温度及介质温度:0-60℃ 精度:1%FS(包括线性精度) 量程比:100:1 响应时间:500ms 重复性:优于0.15%FS 压力极限:1000PSIG 较大压降:流量计:250Pa 控制器:7-14KPa(500SCCM以下) 控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM) 电源:24VDC@250mA(流量计)24VDC@350mA(控制器) 输出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入电源) 设**信号:内置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳线) 电气连接:9针D接口(9 Pin Sub D) 温度影响系数:优于0.05%FS/℃ 压力影响系数:优于0.01%FS/PSI 标准温度:21℃ 标准压力:760Torr 重量:流量计:440g 控制器:460g 订货选型: 请按照下面的选型表进行选型,此外,还需提供以下信息: 流量范围 气体类型 气体湿度 工作温度 工作压力